通常情况下，，，薄膜的厚度指的是基片理论和薄膜理论的距离，，，而现实上，，，薄膜的理论是不平坦，，，不陆续的，，，且薄膜内部存在着针孔、、微裂纹、、纤维丝、、杂质、、晶格缺点和理论吸附分子等。因而薄膜的厚度大至能够分成三类：：状态厚度，，，质量厚度，，，物性厚度。

工业出产的薄膜，，，其厚度是一个重要的参数。随着科技的进取和精密仪器的利用，，，薄膜厚度的丈量步骤有好多，，，依照丈量的方式分能够分为两类：：直接丈量和间接丈量。

使用光谱共焦传感器，，，利用光学的步骤，，，非接触式地丈量薄膜的厚度。在检测过程中，，，白光能够直接穿透，，，取两个波峰顶点的中央段的值，，，即为薄膜的厚度。